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Double Patterning 原理
2018年4月26日—接下來是另一類聰明一點的多重曝光,可以統稱為SADP(Self-AligningDoublePatterning)。例如SideWallTransfer就是核心的實現方式。主要是利用第一 ...,2008年12月25日—雙重曝光(DoublePatterning;DP)是半導體為因應摩爾定律延伸所發展的新曝光技術。...
360°科技:雙重曝光
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2008年12月25日—雙重曝光(DoublePatterning;DP)是半導體為因應摩爾定律延伸所發展的新曝光技術。過去在193波長浸潤式顯影機種之下,已可將半導體製程技術推移至45奈 ...
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